摘 要
简要介绍了化学机械抛光液的组成和功能；本文还从“容器”的概念和“容器”的特征两个角度，对“容器”这一新概念作了简单的分析。本文简要地叙述了该技术的工作原理、工作方法，并举例说明了该技术的具体应用。从而加深对基础设备的认识，扩大其在实践中的应用。其中，对其分子结构、使用方法和要求的各项指标进行了详细的描述。本文对目前化学机械抛光液的研究进展进行了评述。介绍了这几种技术手段的基本理论及目前的研究状况，并对各自的优势及不足作了比较。在此基础上，提出了化学机械抛光液在今后的发展趋势，即环境友好、精细和专业化。在新材料领域，重点阐述了新型材料的应用领域。
关键词：化学机械抛光液；二氧化硅；二氧化铈；氧化铝；纳米金刚石
目 录
摘 要 I
引 言 - 1 -
第一章 抛光液的组成及其作用 - 2 -
第二章 化学机械抛光液的现状 - 3 -
第一节 二氧化硅胶体抛光液 - 3 -
第二节 二氧化铈抛光液 - 4 -
第三节 氧化铝抛光液 - 4 -
第四节 纳米金刚石抛光液 - 5 -
第三章 化学机械抛光液存在的问题及研究方向 - 6 -
第一节 抛光液对环境的影响 - 6 -
第二节 磨料粒子的分散问题 - 6 -
第三节 抛光液的适用性 - 7 -
结 论 - 8 -
参考文献 - 9 -
简要介绍了化学机械抛光液的组成和功能；本文还从“容器”的概念和“容器”的特征两个角度，对“容器”这一新概念作了简单的分析。本文简要地叙述了该技术的工作原理、工作方法，并举例说明了该技术的具体应用。从而加深对基础设备的认识，扩大其在实践中的应用。其中，对其分子结构、使用方法和要求的各项指标进行了详细的描述。本文对目前化学机械抛光液的研究进展进行了评述。介绍了这几种技术手段的基本理论及目前的研究状况，并对各自的优势及不足作了比较。在此基础上，提出了化学机械抛光液在今后的发展趋势，即环境友好、精细和专业化。在新材料领域，重点阐述了新型材料的应用领域。
关键词：化学机械抛光液；二氧化硅；二氧化铈；氧化铝；纳米金刚石
目 录
摘 要 I
引 言 - 1 -
第一章 抛光液的组成及其作用 - 2 -
第二章 化学机械抛光液的现状 - 3 -
第一节 二氧化硅胶体抛光液 - 3 -
第二节 二氧化铈抛光液 - 4 -
第三节 氧化铝抛光液 - 4 -
第四节 纳米金刚石抛光液 - 5 -
第三章 化学机械抛光液存在的问题及研究方向 - 6 -
第一节 抛光液对环境的影响 - 6 -
第二节 磨料粒子的分散问题 - 6 -
第三节 抛光液的适用性 - 7 -
结 论 - 8 -
参考文献 - 9 -
