摘 要
光学干涉技术作为精密测量领域的核心技术之一，凭借其高灵敏度和非接触测量特性，在科学研究与工业应用中发挥着不可替代的作用。本文以光学干涉实验为研究对象，系统分析了其在精密测量中的应用原理，并探讨了相关技术的优化路径。研究背景源于现代工业对微米乃至纳米级精度测量的需求日益增长，而传统测量手段难以满足这一要求。为此，本文旨在深入解析光学干涉的物理机制及其在实际测量中的实现方法，同时提出一种基于相位解调的改进算法，以提升测量精度和稳定性。通过理论建模与实验验证相结合的方法，本文设计并实施了一系列光学干涉实验，包括表面形貌测量、薄膜厚度检测以及动态位移监测等典型应用场景。结果表明，所提出的改进算法能够显著降低噪声干扰，提高测量分辨率，并在复杂环境下保持良好的适应性。最终得出结论：光学干涉技术不仅具备高精度测量能力，还可通过算法优化进一步拓展其应用范围。本文的主要创新点在于将相位解调算法与光学干涉技术深度融合，为精密测量提供了更为可靠的技术方案，同时为未来相关研究奠定了理论与实践基础。
关键词：光学干涉技术 相位解调算法 精密测量 高精度 噪声抑制
目 录
摘 要 I
第一章 绪论 1
1.1 研究背景与意义 1
1.2 国内外研究现状 1
第二章 光学干涉的基本原理分析 2
2.1 干涉现象的物理机制 2
2.2 典型干涉仪的工作原理 2
2.3 干涉条纹形成条件与特性分析 3
2.4 干涉测量中的误差来源与控制 3
第三章 光学干涉在精密测量中的应用原理 5
3.1 长度测量中的干涉原理应用 5
3.2 表面形貌测量的干涉技术分析 5
3.3 微小位移检测的干涉实现方式 6
3.4 动态测量中干涉方法的优势 6
第四章 光学干涉实验的技术优化与案例分析 8
4.1 提高干涉测量精度的关键技术 8
4.2 实验设计中的参数优化策略 8
4.3 典型干涉实验案例解析 9
4.4 新型干涉技术的发展趋势 9
结 论 10
致 谢 11
参考文献 12
